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ATTO3-SR不锈钢钟罩电阻蒸发镀膜机
玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；
两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
可镀110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；
可以选择基片旋转；
良好的薄膜均匀性和重复性，可在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
可沉积金属（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金属、化合物（MoO3, LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
设备集成度高，结构紧凑，占地面积小（0.92平米）；设备配脚轮，方便移动和定位。
真空镀膜室 | ||
|---|---|---|
| 描述 | 不锈钢钟罩+304不锈钢真空室底座 尺寸: Φ300×H415mm； | |
| 体积 | 0.03m³ | |
| 真空系统 | ||
| 描述 | 采用 “分子泵+机械泵”高真空系统: | |
| 分子泵 | 抽速：1200L/S，真正的准无油真空系统，采用下抽气，避免了分子泵的抽气弱点，提高了抽速；分子泵保修5年，提供损坏直接换新服务。 * 可选择进口分子泵 | |
| 真空泵 | 规格：旋片真空泵, 配带油雾过滤器, 带气镇控制 流量：36 m³/h (21 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar 或干泵(可供选择) * 可选配干式真空泵 | |
| 工作电压 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A （可供选择） | |
| 抽速 | 从大气抽至9×10-4Pa≤30min（短时间暴露大气，冲入干燥氮气后开始抽气） | |
| 阀门 | 前级阀/旁路阀：GDQ-40高真空气动挡板阀； | |
| 真空测量 | “两低一高”（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空） 数显复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa；由PC显示和控制，可实现操作互锁联动。 * 可选配进口宽量程真空变送器 | |
| 真空测量 | 部分采用金属密封，部分采用氟橡胶圈密封； | |
| 基片台 | ||
| 描述 | 放置样品的载物台采用304不锈钢制造，基片置于蒸发源正上方(全自动升降功能)，根据基片尺寸设计工装，方便用户固定样品。可定制一体化高精度刻蚀掩膜板； | |
| 旋转 | 采用步进电机控制驱动旋转，磁流体密封，电机和磁流体同轴，不会产生丢转、爬行等情况，步进电机控制精确，转速范围0-30rpm连续可调； | |
| 升降 | 采用步进电机控制驱动旋转，磁流体密封，控制精确，高度范围0-100mm连续可调； | |
| 掩膜 | 抽屉式结构，承载最大小于120×120mm 样品，配日本SMC气动基片挡板，电气联动全自动控制。 | |
镀膜源 | ||
金属蒸发源 | 结构 | 采用水冷铜电极+蒸发舟结构， 蒸发源间均设有防污染隔板且每个源均配有定位挡板，智能PC控制； |
| 蒸发温度 | 室温0~1300℃ | |
金属蒸发电源 | 输出功率 | 0~3000W ，电流通过逆变式调控，稳定可靠。电源功率在0~最大功率之间连续可调。 |
| 控制 | RS-485接口，电源功率在0-最大功率之间连续可调。 | |
数量 | 2台，自动切换控制 | |
| 控制系统 | ||
| 描述 | 采用windows操作平台和cotrl2000控制系统，采用IPC+network技术，实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控，有自动和手动控制两种模式。除取放样品外，其它操作过程全部在PC上使用软件控制；提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面；在工控机上可通过配方设置参数，实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。 | |
| 特点 | 能够有效解决镀膜的准确、稳定和可靠性。 完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护；系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 采用丰富I/O接口设计，充分满足扩展与外连设备的功能需求。 显示控制镀膜机的舱门开启/关闭。 镀膜工艺、工序、膜厚，方便并且保存打印。 | |
膜厚监测、控制系统 | ||
| 描述 | 采用石英晶振膜厚控制仪，水冷膜厚探头安装在基片台附近，工控机连接。膜厚仪用以实时监测镀膜速率和终厚，精度可达±1A（0.1nm）,实时信息反馈给工控机 ,若镀膜达到设置厚度,可自动控制电源,停止镀膜,实现自控膜厚之目的。 | |
| 范围 | 监测厚度范围：1Å～99µ9999Å，分辨率1Å；监测速率范围：0.1Å～9999.9Å.S/s，分辨率0.1Å | |
特点 | 镀膜工艺、工序、膜厚设置均在PC上，可实现全过程自动化控制，可在PC上设定镀膜工艺，记录数据。 | |
水冷系统 | ||
描述 | 冷却水路8进8出，总进水采用水压继电器控制。 总进水与出水接1P制冷循环水机，控温范围10–25 ℃。给靶、金属源、分子泵、磁流体提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。 | |
| 水冷系统 | 冷却水路8进8出，总进水采用水压继电器控制。 总进水与出水接1P制冷循环水机，控温范围10–25 ℃。给金属源、分子泵、磁流体提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。 | |
| 其他说明 | ||
| 产品认证 | ISO9001认证、CE认证、UL认证 | |
| 质保期 | 一年质保期，终身维修 | |
| 应用注意事项 | 详情参阅说明书危险、警告、注意等条款 | |
| 包装尺寸(W×D×H) | ||
| 重量 | ||
北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体，以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务，同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等，代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。
北京帕托真空技术有限公司主营：真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务，提供真空设备所需的腔体（Chamber），分子泵等部件、真空系统的设计与加工；真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等；提供电气控制类产品的设计、加工和调试；研发、生产和销售高端镀膜材料；提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。
北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队，客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务，积累了丰富的经验，在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上，帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程，以不辜负客户的委托和信任。
北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新，立足于服务客户的宗旨，以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上，精益求精”的经营理念，坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。
ATTO3-SR不锈钢钟罩电阻蒸发镀膜机
ATTO3是经过验证的，坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作，具有广泛的沉积仪器选配，包括：射频和直流溅射源，低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用，如 石英晶体监测，高真空负载锁和加热，冷却，旋转或静态样品台。
功能特点：
箱体304L 不锈钢室或玻璃腔室： Φ300mm×415mm 高( 内部尺寸)
该室根据系统配置标配最多五个备用端口
真空测试运行到10 -8 Torr
热蒸发（最多2 个独立金属蒸发舟）
磁控溅射源（最多2 个 2"，3" 源）
有机沉积源（最多两个）
上述配置的可以组合安装。
可根据要求提供定制配置
