薄膜太阳能电池制备系统系统(四室)
设备用途:该设备用于制备多组份、多层复合的致密的金属/非金属、金属氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金属氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均匀的薄膜材料,其中靶材可为金属/非金属的单组份或多组份材料(包含磁..
电子束蒸发550
对传统热蒸发技术难以实现的材料蒸发,可采用电子束蒸发(E-beam Evaporation)的方式来实现。不同于传统的辐射加热和电阻丝加热,高能电子束轰击可实现超过3000℃的局域高温,这使..
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