高真空用真空泵

高真空用真空泵

高真空泵分为两类

（1）转移动量给气态分子而抽吸气体

      扩散泵   （vapour pump）

       分子泵    (turbo pump)

（2）俘获气体分子

      冷泵     （Cryo Pump）

       离子泵   （Ion pump）

涡轮分子泵（Turbo pumb）

工作原理：

       靠机械运动对气体分子施加作用，并使气体分子向特定方向运动的原理来工作的。涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，以20000-35000转/分的高速旋转，将动量传给气体分子，多级叶片的连续压缩保证了分子泵的高效快速的工作。

Turbo Pump 工作原理图

          冷泵（Cryopump）

l 工作原理：

    依靠气体分子在低温条件（<100 K）下自发凝结或被其它物质表面吸附的性质实现对气体分子的去除，进而获得高真空的装置 。

    真空度依赖于低温度，吸附物质的表面积和吸附气体的种类等。

l 优点：无振动，抽速快

l 广泛用于受控核聚变，粒子加速器和现代半导体技术领域

l 抽气原理分成以下三个机构：

（1）低温冷凝

（2）低温吸附

（3）低温捕获

比较：