真空计简介

真空计简介

定义：

     真空气压计是测量真空度或气压的仪器简称真空计（Vacuum gauges）又称规。是依据各种物理原理來量测压力或分子数目的多少。在科研和工业生产中广泛使用。

l  真空测量元件常被称为真空规，真空测量技术分为低真空和高真空测量；

1、电离真空计

2、电容压力计

3、热偶真空规

  水银真空计

直接测量真空度的量具，如U型计、压缩真空计(麦克劳真空计) 。  

电容真空计

l   工作原理：通过薄膜在气压力差下产生机械位移，测量电极间电容对气压进行绝对测量，测量结果与气体种类无关。

         电容真空计原理图

 如图所示，

在不同压力下金属膜

片受力不同会有不同

尺度的变形，使得金

属膜片和电极之间的

电容变化，通过测量

电容的变化量，即可

知道金属膜片上气压

的变化。

　　这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

热偶真空计，皮拉尼 (Pirani)真空计

l   热偶规工作原理：气体的热导率随气体压力变化，通过热电偶测出热丝的温度，也就相应的测出了环境的气体压强。

l   皮拉尼工作原理：通过测量热丝的电阻随温度的变化实现对真空度的测量。