电离真空规

l 工作原理：它由阴极，阳极和离子收集极组成，热阴极发射电子飞向阳极过程中，使气体分子电离，并被收集电极收集形成电流，根据离子电流测出气体压强。

l 特点与使用：属高真空和超高真空测量，通常与热偶规同时使用。

比较：

真空计的发展趋势

1. 小型化：是电子技术发展的产物,它又是一体化和集成化的基础

2. 一体化：可以提高测量准确度

3. 集成化：可以更好地适应在实际真空系统中的应用

4. 智能化：依赖于计算机技术的迅速发展

5. 系统化:可满足工业自动化的需求,亦与计算机技术密切相关

因此,真空计向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向的发展,是在迅速发展的电子技术和计算机技术的推动下,为满足应用的需求而产生的结果。

低真空系统

l 系统组成：

真空室；机械泵；热偶规

l 应用

低压化学汽相薄膜沉积；

真空包装等

高真空系统

l 系统组成：

真空室；分子泵或油扩散泵；

机械泵；热偶电离复合规^-

l 应用:溅射沉积和蒸发等镀膜系统.

超高真空系统

n 系统组成：

真空室；分子泵或油扩散泵；

机械泵；离子泵；热偶电离复合真空规

n 应用

表面，界面及原子操纵