真空计简介
定义:
真空气压计是测量真空度或气压的仪器简称真空计(Vacuum gauges)又称规。是依据各种物理原理來量测压力或分子数目的多少。在科研和工业生产中广泛使用。
l 真空测量元件常被称为真空规,真空测量技术分为低真空和高真空测量;
1、电离真空计
2、电容压力计
3、热偶真空规
水银真空计
直接测量真空度的量具,如U型计、压缩真空计(麦克劳真空计) 。
电容真空计
l 工作原理:通过薄膜在气压力差下产生机械位移,测量电极间电容对气压进行绝对测量,测量结果与气体种类无关。
电容真空计原理图
如图所示,
在不同压力下金属膜
片受力不同会有不同
尺度的变形,使得金
属膜片和电极之间的
电容变化,通过测量
电容的变化量,即可
知道金属膜片上气压
的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
热偶真空计,皮拉尼 (Pirani)真空计
l 热偶规工作原理:气体的热导率随气体压力变化,通过热电偶测出热丝的温度,也就相应的测出了环境的气体压强。
l 皮拉尼工作原理:通过测量热丝的电阻随温度的变化实现对真空度的测量。
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