电离真空规
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工作原理: 它由阴极,阳极和离子收集极组成,热阴极发射电子飞向阳极过程中,使气体分子电离,并被收集电极收集形成电流,根据离子电流测出气体压强。
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特点与使用:属高真空和超高真空测量,通常与热偶规同时使用。
比较:
真空计的发展趋势
1. 小型化:是电子技术发展的产物,它又是一体化和集成化的基础
2. 一体化:可以提高测量准确度
3. 集成化:可以更好地适应在实际真空系统中的应用
4. 智能化:依赖于计算机技术的迅速发展
5. 系统化:可满足工业自动化的需求,亦与计算机技术密切相关
因此,真空计向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向的发展,是在迅速发展的电子技术和计算机技术的推动下,为满足应用的需求而产生的结果。
低真空系统
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系统组成:
真空室;机械泵;热偶规
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应用
低压化学汽相薄膜沉积;
真空包装等
高真空系统
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系统组成:
真空室;分子泵或油扩散泵;
机械泵;热偶电离复合规-
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应用:溅射沉积和蒸发等镀膜系统.
超高真空系统
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系统组成:
真空室;分子泵或油扩散泵;
机械泵;离子泵;热偶电离复合真空规
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应用
表面,界面及原子操纵
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