ATTO10-R 高真空电阻热蒸发镀膜机


咨询电话:400-096-8156
手机热线:138-1149-5691

ATTO10-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

功能特点

箱体304L 不锈钢室: φ400mm ×H450mm 

该室根据系统配置标配最多十个备用端口

真空测试运行到10 -8 Torr

热蒸发(最多4 个独立金属蒸发舟)

磁控溅射源(最多4 个 2",3" 源)

电子束蒸发源(4 坩埚8cc,8 坩埚12cc,6 坩埚20cc)

有机沉积源(最多四个)

上述配置的可以组合安装。

可根据要求提供定制配置

设备组成:

该设备主要由有机/金属蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。

应用领域:

适用于制备金属电极、钙钛矿太阳能电池、OLED、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于于小批量及中试生产或大批量生产前的试验工作。