Mop300-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

手动系统适用于本科生教学,研究生科研训练,也可以应用于科研工作。该款设备适用于磁控溅射,也可以装配电子束蒸发,热蒸发源等,用户可根据需求来选择配备。



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型号

Mop300

Mop300-S

真空室

Φ300×H415mm;

Φ300×H450mm;

玻璃钟罩+304不锈钢真空室底座

304不锈钢真空室,内表面镜面抛光

真空系统

复合分子泵+合资机械泵(分子泵抽速≥400L/s)

控制系统手动按键手动按键

极限真空

优于3×10-5Pa(2×10-7Torr)

恢复真空时间

达到3×10-4Pa≤15min

蒸发源

2~3组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸

2~3组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸

蒸发电源

2KW,1台一带二真空蒸发电源,恒流输出

2KW,1台一带二恒流/恒功率控制,可以预设工作电流

基片台

110mm方形基片或15~25mmITO/FTO玻璃25片,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板

基片台可选择加热(室温~300℃可调可控)或水冷

速率和膜厚监控

监测厚度范围:1Å~99µ9999Å,分辨率1Å;监测速率范围:0.1Å~9999.9Å.S/s,分辨率0.1Å

电控系统

手动按钮继电器逻辑控制;完善的程序互锁,完备的防误操作设计及保护;系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

选配

冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源等

设备配电

电压:AC220V/50HZ

功率:≤3.5KW

设备尺寸

长×宽: 1150mm×800mm

北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

Mop300-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

技术参数:

1 本底真空:10-7 Torr;

2 单基片设计,尺寸可定制;

3 基片可旋转并加热:300℃/500℃/800℃;

4 溅射:1-3支磁控溅射靶枪,可共溅射;

5 电子束蒸发:4-6坩埚

6 热蒸发:1-3蒸发源;