Mop400-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。OPV系列真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域        设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置！ 

1. 不锈钢箱体设计，钢化玻璃或聚碳酸酯前窗

2. 指标：水、氧＜1PPM

3. 泄漏率：≤0.05vol%/h

4. 电磁阀采用模块化设计，泄漏率降低，更换方便

5. 带滑动托盘的大过渡舱，过渡舱门设计独特，轻巧、开启方便省力，操作简单。

6. GP-20惰性气体的净化系统

7. SIEMENS微控制器

8. SIEMENS操作触摸屏幕：易于进入各功能

9. 数据备忘录：自动记录系统数据

10. 闭合气体循环，无油和真空

11. 全不锈钢气体流量管道及配件

12. BOC EDWARDS RV12真空泵，配备油雾过滤器

13. HEPA高效率滤器

14. 自动压力控制，工作气压可设定在范围+/-15mbar

15. 高低可调式支架

16. 方便移动的可调脚轮

17. 带防反射膜的灯罩