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ATTO10-O高真空有机蒸发镀膜机
功能特点箱体304L 不锈钢室:φ400mm×H450mm该室根据系统配置标配最多十个备用端口真空测试运行到10 -8 Torr热蒸发(最多4 个独立金属蒸发舟)磁控溅射源(最多4 个 2",3" 源..
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