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ATTO3-SG 高真空磁控溅射镀膜机&手套箱
真空镀膜室描述玻璃钟罩+304不锈钢真空室底座尺寸: Φ300×H450mm；体积0.03m³极限真空≤6. 67x10-5pa （2×10-7Torr） (经烘烤除气后）恢复真空时间≤6.67X10..
ATTO3-SG 高真空磁控溅射镀膜机&手套箱
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