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ATTO10-E高真空电子枪镀膜系统
阴极电压6KV-15KV,阴极加热电源AC 3V+3V, 60A 可调束流间冷坩埚0~500mA,直冷坩埚0~1A坩埚容量为4孔间冷4×17mL,4孔直冷 4×22mL,环形直冷 85mL磁场电源X偏..
ATTO10-EG高真空电子枪镀膜及手套箱系统
配套标准单工位手套箱净化保护系统超低含量水氧≤0.1ppm电磁阀模块化设计,泄漏率更低、更换更方便闭合气体循环、无油和真空阴极电压6KV-15KV,阴极加热电源AC 3V+3V, 60A&n..
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