FCM-III型膜厚控制仪


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北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

FCM-III型膜厚控制仪

FCM-III型膜厚控制仪技术规范

FCM-III型膜厚控制仪编程功能

厚度显示范围0~99μ9999Å材料名称显示257种另加10种自定义
厚度显示分辨率密度(随材料而定,并可修改)00~99.99gm/cc
速率显示范围0~999.9Å/SZ因子(随材料而定,并可修改)00~99.99
速率显示分辨率0.1Å/S终厚00μ0000Å~99μ9999Å
测量和控制更新周期0.33 S镀膜速率0~999.9Å/S
频率显示分辨率0.5 Hz束流控制输出2路(枪1,枪2)
时间显示0~999:60 分:秒挡板控制输出2个
功率显示0~99.9%坩埚控制输出11个
探头选择A或B 两个每路加热功率 (两个设定点)0~99.9%
膜系8个每路加热上升时间(两个设定点)0~99:60分:秒
层数0~99层每路加热保温时间(两个设定点)0~99:60 分:秒
工具因子0~99.99预熔功率(即第一个设定加热功率)0~99.9%
增益0~99.99预熔时间(达到预熔功率后保持)0~99:60 分:秒
逼近值0~99.9最大输出功率0~99.9%
晶片选择1个或2个