SQC-310 薄膜沉积控制器


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  • 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本

  • 标准 RS-232 和 USB(可选 RS-232 和以太网)

  • 设有“Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作

  • 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序,以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序

  • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz

  • 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料

  • 使用单传感器或多传感器监控源材料,提供精确的源分布监控


北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

SQC-310 薄膜沉积控制器

类型SQC-310SQC-310C
测量  
QCM 输入2 (4 optional)4
测量频率范围Adjustable:
       1.0 MHz minimum
       6.5 MHz maximum
Adjustable:
       1.0 MHz minimum
       6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1)± 0.012 Hz± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)±0.015 ű0.015 Å
频率稳定性± 2 ppm total, 0 to 50C± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期0.10 to 1.0 s (adjustable)0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示0.01 Å/sec0.01 Å/sec
控制  
存储100 processes, 1000 layers, 50 films100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出2 (4 optional)4
输出信号± 0 to 10 VDC, 15 bits± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器8/8 (16/16 optional)16/16
数字输入5 VDC non-isolated5 VDC non-isolated
继电器SPST Form 1A, 30V, 2A maxSPST Form 1A, 30V, 2A max
接口Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制Optional (IPN 782-900-017)Optional (IPN 782-900-017)
显示器  
类型1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表Rate, deviation, power or full screen numericRate, deviation, power or full screen numeric
一般  
功率100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合规性CE, RoHSCE, RoHS
Windows® 软件IncludedIncluded
壳体/安装5 1/4” half-rack5 1/4” half-rack

(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.25 秒测量间隔