磁控溅射系统(三靶共溅射)


咨询电话:400-096-8156
手机热线:138-1149-5691

北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

磁控溅射系统(三靶共溅射)

型号

EVAP400S

主真空室

方形前开门结构,尺寸L×W×H:400mm×400mm×450mm

真空系统配置

主真空室

复合分子泵、机械泵、气动闸板阀

极限压力

主真空室

≤6. 67x10-5pa(经烘烤除气后)

恢复真空时间

主真空室

30分钟可达到6. 6x10-4 pa(系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)

进样室

30分钟可达到6. 6x10-3 Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)

磁控靶组件

2-4套永磁靶;靶材尺寸ø60mm (其中一个可溅射磁性材料);各靶射频溅射和直流溅射兼容;靶内水冷;三个靶可共同折向上面的样品中心;靶与样品距离90~110mm可调;每个靶配气动挡板。

基片加热台

样品尺寸

ø3英寸

运动方式

基片可连续回转,转速0-30rpm

加热

基片加热最高温度600℃±1℃

挡板形式

进口SMC转角气缸控制

工艺气路系统

质量流量控制器2-4路

*可选部件

进样室磁控靶组件

永磁靶,靶材尺寸ø 60mm。

膜厚仪

国产/进口

静音气泵

无油润滑

计算机控制系统

自动控制、工艺读入、参数设置、实时监控等功能

设备占地面积

主机

1800X1200mm2